1、真(zhēn)空泵的工作壓(yā)強應(yīng)該滿足真(zhēn)空設備的極限(xiàn)真空(kōng)及工作壓(yā)強要求(qiú)。如：真空(kōng)鍍膜要(yào)求1×10-5mmhg的真(zhēn)空度(dù)，選用的真空泵(bèng)的真(zhēn)空度(dù)至少要5×10-6mmhg。通常選(xuǎn)擇泵(bèng)的真空度(dù)要高于(yú)真空設備真空度半個(gè)到一個數量級(jí)。

　　2、正确地選(xuǎn)擇真空泵的工(gōng)作點(diǎn)。每種泵都(dōu)有一定的(de)工作壓強(qiáng)範圍，如：擴散泵(bèng)為10-3~10-7mmhg，在這樣(yàng)寬壓強範(fàn)圍(wéi)内，泵的(de)抽速随(suí)壓強而變化，其穩定的(de)工作壓強範(fàn)圍(wéi)為5×10-4~5×10-6mmhg。因(yīn)而，泵的工(gōng)作點應該(gāi)選在這個範圍(wéi)之内(nèi)，而(ér)不(bú)能(néng)讓它在(zài)10-8mmhg下長期工作(zuò)。又(yòu)如钛(tài)升(shēng)華泵可(kě)以在10-2mmhg下(xià)工作，但(dàn)其工作壓強應小于(yú)1×10-5mmhg為好。

　　3、真空(kōng)泵在其(qí)工作壓(yā)強下，應能排走真空設(shè)備工藝(yì)過程中産生的(de)全部氣體(tǐ)量。

　　4、正(zhèng)确地(dì)組(zǔ)合真空泵。由于真空泵(bèng)有選(xuǎn)擇(zé)性抽氣，因而，有時選用(yòng)一種(zhǒng)泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需(xū)要幾種泵組合(hé)起來，互相補充(chōng)才能(néng)滿足抽氣(qì)要(yào)求。如钛升華泵對氫有很高(gāo)的抽速，但(dàn)不能抽氦(hài)，而三極型(xíng)濺射(shè)離子泵，（或(huò)二(èr)極(jí)型非對稱(chēng)陰極濺射離子(zǐ)泵）對(duì)氩有一定(dìng)的抽速(sù)，兩者組(zǔ)合起(qǐ)來，便(biàn)會使(shǐ)真空(kōng)裝(zhuāng)置(zhì)得到(dào)較好的真空度(dù)。另外，有的真空(kōng)泵不(bú)能在(zài)大氣(qì)壓下工作，需要預真(zhēn)空；有的真(zhēn)空泵出(chū)口(kǒu)壓強(qiáng)低于大(dà)氣壓，需要前級泵，故都(dōu)需要把(bǎ)泵組合(hé)起來使用(yòng)。

　　5、真空(kōng)設備對油污染(rǎn)的要求。若設備(bèi)嚴格要(yào)求無油(yóu)時，應該選(xuǎn)各種(zhǒng)無油泵，如：水環(huán)泵、分子(zǐ)篩吸附泵、濺射離(lí)子泵、低溫泵等。如果(guǒ)要求(qiú)不(bú)嚴(yán)格，可(kě)以選擇有(yǒu)油泵(bèng)，加上一些防油(yóu)污染措施(shī)，如加(jiā)冷阱、障(zhàng)闆、擋油阱等(děng)，也能(néng)達到(dào)清潔真空要求(qiú)。

　　6、了解被(bèi)抽氣體成分，氣體(tǐ)中含(hán)不含可凝蒸氣，有無顆粒(lì)灰塵(chén)，有無腐蝕性等(děng)。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽(chōu)氣體(tǐ)選(xuǎn)擇(zé)相應的泵(bèng)。如(rú)果氣體(tǐ)中含有蒸氣、顆(kē)粒、及(jí)腐蝕(shí)性氣(qì)體，應(yīng)該考(kǎo)慮在(zài)泵的(de)進氣口管(guǎn)路(lù)上安裝輔助(zhù)設備(bèi)，如冷凝(níng)器(qì)、除塵(chén)器等(děng)。

　　7、真空泵排(pái)出來的油(yóu)蒸氣對(duì)環境的(de)影響如何。如果(guǒ)環境不允(yǔn)許有(yǒu)污染(rǎn)，可以(yǐ)選無(wú)油真(zhēn)空泵，或者(zhě)把油(yóu)蒸(zhēng)氣(qì)排到(dào)室外。

　　8、真(zhēn)空泵工(gōng)作時産(chǎn)生的振(zhèn)動對工藝(yì)過程(chéng)及環(huán)境(jìng)有無影(yǐng)響。若工藝過程不允許，應選擇(zé)無振動的(de)泵或(huò)者采取防振動(dòng)措施。

　　9、真空泵的(de)價格(gé)、運轉及維(wéi)修費用。

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